{"id":15441,"date":"2025-07-08T09:22:55","date_gmt":"2025-07-08T09:22:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.epicmicron.com\/?p=15441"},"modified":"2025-07-08T09:35:34","modified_gmt":"2025-07-08T09:35:34","slug":"key-equipment-for-silicon-based-anode-production","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.epicmicron.com\/th\/key-equipment-for-silicon-based-anode-production\/","title":{"rendered":"\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e31\u0e49\u0e27\u0e1a\u0e27\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19"},"content":{"rendered":"<p>\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e2d\u0e42\u0e19\u0e14\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 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<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33 (0.01 \u2013 1000Pa) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e31\u0e4a\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19 \u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e22\u0e31\u0e07\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e23\u0e27\u0e21\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e32\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e41\u0e19\u0e48\u0e43\u0e08\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a SiOx \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23 \u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e4c\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e08\u0e35\u0e19\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e17\u0e0b\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e22\u0e30\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e17\u0e34\u0e15\u0e22\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e14\u0e34\u0e1a\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e4c \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e35\u0e44\u0e0b\u0e40\u0e04\u0e34\u0e25\u0e17\u0e23\u0e31\u0e1e\u0e22\u0e32\u0e01\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading has-medium-font-size\">\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e2d\u0e42\u0e19\u0e14\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19-\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e46 \u0e04\u0e37\u0e2d \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a CVD (Chemical Vapor Deposition) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a PVD (Physical Vapor Deposition) \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 CVD \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e44\u0e0b\u0e40\u0e25\u0e19 (SiH4) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e14\u0e34\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e1c\u0e07\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1f\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b \u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1a\u0e33\u0e1a\u0e31\u0e14\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e23\u0e27\u0e1a\u0e23\u0e27\u0e21 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e08\u0e30\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e15\u0e35\u0e22\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e35\u0e22\u0e07\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 \u00b1 5 \u00b0C <\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 CVD \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07 Zhongning Silicon Industry \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1c\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07 20 \u2013 100 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 500 \u0e15\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e35 \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23 PVD \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e41\u0e17\u0e19 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e42\u0e14\u0e22 Boqian New Materials \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1c\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e23\u0e07\u0e01\u0e25\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 100 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e14\u0e35\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading has-medium-font-size\">\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e27\u0e25\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e21\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e25\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e33\u0e08\u0e32\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e14\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e14\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e34\u0e01<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e14\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19-\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e25\u0e1a \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e14\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22\u0e41\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e15\u0e31\u0e27\u0e1a\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e04\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (\u0e1c\u0e2a\u0e21 3 \u0e21\u0e21. \u0e41\u0e25\u0e30 5 \u0e21\u0e21.) \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e14\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e15\u0e32\u0e21\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e42\u0e14\u0e22 Shanghai Shanshan Technology \u0e44\u0e14\u0e49\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e34\u0e01\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e14\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e4c \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e23\u0e01 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1,500\u00b0C \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e1a\u0e31\u0e14 2 \u2013 5 \u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07 \u0e17\u0e35\u0e21\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07 Central South University \u0e44\u0e14\u0e49\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e1a\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29 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\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e1a\u0e31\u0e14\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e2b\u0e35\u0e1a\u0e2b\u0e48\u0e2d<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e08\u0e47\u0e17\u0e21\u0e34\u0e25\u0e25\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e14\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e01\u0e40\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0a\u0e19 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\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e42\u0e14\u0e22\u0e1e\u0e34\u0e08\u0e32\u0e23\u0e13\u0e32\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e1e\u0e25\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 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has-medium-font-size\">\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e25\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 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\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e15\u0e32\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14 \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21 \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e34\u0e44\u0e14\u0e0b\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1e\u0e23\u0e35\u0e2e\u0e35\u0e15\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c \u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e35\u0e49 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\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e17\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e19\u0e47\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e34\u0e08\u0e34\u0e17\u0e31\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e31\u0e08\u0e09\u0e23\u0e34\u0e22\u0e30<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading has-text-align-center has-medium-font-size\">\u0e15\u0e32\u0e23\u0e32\u0e07: \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14\u0e25\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table><tbody><tr><td>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/td><td>\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01<\/td><td>\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d<\/td><td>\u0e15\u0e31\u0e27\u0e41\u0e17\u0e19\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\/\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35<\/td><\/tr><tr><td>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21 SiOx<\/td><td>\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 1200-1800\u00b0C \u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19 0.01-1000Pa<\/td><td>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21 CECEP<\/td><\/tr><tr><td>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19-\u0e0b\u0e34 CVD<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1c\u0e07\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e0b\u0e40\u0e25\u0e19 \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 20-100 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/td><td>\u0e08\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e34\u0e07 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 (\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e43\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e14\u0e39\u0e42\u0e2d\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e2d\u0e44\u0e23\u0e14\u0e4c)<\/td><\/tr><tr><td>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c PVD \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19-Si<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22-\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 &lt;100nm<\/td><td>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e42\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e19<\/td><\/tr><tr><td>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e17\u0e23\u0e32\u0e22<\/td><td>\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15 Si\/C \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07<\/td><td>\u0e15\u0e31\u0e27\u0e1a\u0e14 3\/5 \u0e21\u0e21. \u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25 1-3 \u0e0a\u0e21.<\/td><td>\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17 \u0e40\u0e0b\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e44\u0e2e\u0e49 \u0e0a\u0e32\u0e19\u0e0a\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e17\u0e04<\/td><\/tr><tr><td>\u0e2b\u0e2d\u0e1e\u0e48\u0e19\u0e41\u0e01\u0e23\u0e19\u0e39\u0e40\u0e25\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e19<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e07<\/td><td>\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 30-50\u03bcm<\/td><td>\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46<\/td><\/tr><tr><td>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e34\u0e44\u0e14\u0e0b\u0e4c\u0e40\u0e1a\u0e14 CVD<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19<\/td><td>\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 600-1000\u00b0C \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e41\u0e01\u0e4a\u0e2a 8L\/s<\/td><td>\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c<\/td><\/tr><tr><td>\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e22\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e0a\u0e31\u0e19<\/td><td>\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 1000-1500\u00b0C \u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32 2-5 \u0e0a\u0e21.<\/td><td>\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46<\/td><\/tr><tr><td>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e08\u0e47\u0e17<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e14\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17&nbsp;<\/td><td>D50&lt;10\u03bcm \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19<\/td><td>\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\/\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p>\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e25\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e36\u0e07\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e32\u0e0d\u0e09\u0e25\u0e32\u0e14\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 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